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1. 馬達(dá)控制Z軸進(jìn)針: Nano-IM? 6x6包括***個(gè)獨(dú)特的三馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，用來移 動(dòng)AFM探針逼近樣品進(jìn)行掃描。 每個(gè)馬達(dá)可以在0.33” (8.5 mm)的范圍內(nèi)動(dòng)作，可以獨(dú)立控制，帶有定位傳感器。
2. 花崗巖基座, 抗噪聲能力***佳
3. 閉環(huán)掃描功能
4. 可以配備: SHARK 模式測量I/V曲線(電流范圍:fA-mA), KPM/EFM, 電容模式測P/N參雜, 磁力模式, 與鐵電分析儀連用
 

1. 自動(dòng)XY臺范圍: X 150mm, Y 150mm, XY臺準(zhǔn)確度＜10微米
2. XYZ校準(zhǔn)傳感器: 1nm分辨率
3. XY掃描范圍 : 80-90 微米
4. Z軸掃描范圍 : 8-10 微米
5. Z軸噪音 ＜0.06nm
6. XY噪音 ＜0.01nm（開環(huán)掃描）
7. XY軸非線性度 ＜1%
8. 閉環(huán)掃描功能為標(biāo)配
9. 光學(xué)顯微鏡: 放大1000倍以上,分辨率1.5微米

Nano-IM? 6x6是***套完整、高性能、優(yōu)化的用于晶片（wafer）和磁盤(disk)成 像的原子力顯微鏡系統(tǒng)。
Nano-IM? 6x6的應(yīng)用包括研發(fā)、工藝開發(fā)和工藝控制。該系統(tǒng)包括主機(jī)、軟件、 電子控制器和AFM樣品臺。自動(dòng)化的X-Y臺能容納直徑為6”（150mm）厚度為0.33” (8.5 mm)的晶片。 這種樣品臺能夠通過計(jì)算機(jī)來調(diào)整樣品和探針之間的角度。 Nano-IM? 6x6軟件在Win XP?操作系統(tǒng)中運(yùn)行。 Nano-IM? 6x6樣品臺很很容易 安裝于桌面臺上，能在普通的實(shí)驗(yàn)室條件下獲得高分辨的結(jié)果。樣品臺的設(shè)計(jì)的 非常有彈性，***大限度的滿足各種樣品的需要，盡可能利于安裝和對準(zhǔn)AFM掃描器