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FMA3304_FMA3305_FMA3306_FMA3307_FMA3308_FMA3309質(zhì)量流量計(jì)和控制器OMEGA

可測(cè)量***大流速為10 SLM

0 ~ 5 Vdc線性輸出

具成本效益

FMA3304_FMA3305_FMA3306_FMA3307_FMA3308_FMA3309質(zhì)量流量計(jì)和控制器OMEGA

規(guī)格:

輸出：0 ~ 5 Vdc（最小值2500 ?）

輸入設(shè)定電壓 （僅FMA3200）：0 ~ 5 Vdc

精度：滿量程的±1.5%*

重復(fù)性：滿量程的±0.5%

響應(yīng)時(shí)間：在滿量程的25 ~ 100%范圍大約2秒（常規(guī)）達(dá)到設(shè)定流速的±2%內(nèi)

工作環(huán)境：10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無(wú)冷凝空氣

工作壓力范圍：25°C (77°F)時(shí)達(dá)到最大值150 psi

溫度系數(shù)：每°C為±0.2%

壓力系數(shù)：每psi為±0.02%

泄漏完整性：對(duì)于外界環(huán)境，最大值為1x10-4SCCS氦氣

輸入電源： FMA3100和FMA3300：12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)

FMA3200：12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)

連接口：流速達(dá)到1 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭；流速達(dá)到5 L/min時(shí)，采用?" 壓合接頭；流速達(dá)到10 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭

接液材質(zhì)：陽(yáng)極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環(huán)氧樹(shù)脂、乙縮醛壓合管接頭（標(biāo)配）

量程比：10:1

氣體：大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮?dú)狻⒍趸肌鍤狻錃狻⒑狻⒓淄椤⒀鯕猓?/p>

過(guò)濾：如果氣體中含有任何顆粒物質(zhì)，需要使用20微米過(guò)濾器

規(guī)格（FMA3200流量控制器） 壓差：15 ~ 40 psi

閥門(mén)工作壽命：>1百萬(wàn)次循環(huán)；閥門(mén)處于常閉狀態(tài)

控制量程：50:1

遠(yuǎn)程設(shè)定電壓：0 ~ 5 Vdc

重量： FMA3100：199 g (0.44 lb)

FMA3300：249 g (0.55 lb)

FMA3200：386 g (0.85 lb)

不帶接頭的尺寸（近似值）： FMA3100：47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")

FMA3300：47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")

FMA3200：81（長(zhǎng)）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")

FMA3304_FMA3305_FMA3306_FMA3307_FMA3308_FMA3309質(zhì)量流量計(jì)和控制器OMEGA

規(guī)格:

輸出：0 ~ 5 Vdc（***小值2500 ?）

輸入設(shè)定電壓 （僅FMA3200）：0 ~ 5 Vdc

精度：滿量程的±1.5%*

重復(fù)性：滿量程的±0.5%

響應(yīng)時(shí)間：在滿量程的25 ~ ***范圍大約2秒（常規(guī)）達(dá)到設(shè)定流速的±2%內(nèi)

工作環(huán)境：10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無(wú)冷凝空氣

工作壓力范圍：25°C (77°F)時(shí)達(dá)到***大值150 psi

溫度系數(shù)：每°C為±0.2%

壓力系數(shù)：每psi為±0.02%

泄漏完整性：對(duì)于外界環(huán)境，***大值為1x10-4SCCS氦氣

輸入電源： FMA3100和FMA3300：12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)

FMA3200：12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)

連接口：流速達(dá)到1 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭；流速達(dá)到5 L/min時(shí)，采用?" 壓合接頭；流速達(dá)到10 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭

接液材質(zhì)：陽(yáng)極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環(huán)氧樹(shù)脂、乙縮醛壓合管接頭（標(biāo)配）

量程比：10:1

氣體：大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮?dú)狻⒍趸肌鍤狻錃狻⒑狻⒓淄椤⒀鯕猓?/p>

過(guò)濾：如果氣體中含有任何顆粒物質(zhì)，需要使用20微米過(guò)濾器

規(guī)格（FMA3200流量控制器） 壓差：15 ~ 40 psi

閥門(mén)工作壽命：>1百萬(wàn)次循環(huán)；閥門(mén)處于常閉狀態(tài)

控制量程：50:1

遠(yuǎn)程設(shè)定電壓：0 ~ 5 Vdc

重量： FMA3100：199 g (0.44 lb)

FMA3300：249 g (0.55 lb)

FMA3200：386 g (0.85 lb)

不帶接頭的尺寸（近似值）： FMA3100：47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")

FMA3300：47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")

FMA3200：81（長(zhǎng)）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")