分子泵應用 Hipace 80
分析儀器:電子顯微鏡、檢漏、小型質譜、表面分析、殘余氣體分析
半導體:PVD、inspection、bonding、MBE、load-locks
工業:醫學技術、工業檢漏、隔離真空、燈管制造
研發:核研究、等離子研究、粒子加速器、冷凍研究、納米技術、生物技術
上海伯東客戶分子泵應用***:Hipace 80,Hipace 400 用于分子束外延 MBE,主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長。
Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 80
上海伯東銷售維修德***普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能渦輪分子泵。 Hipace 80 對所有氣體的高抽速和極高壓縮比使其廣泛應用于真空行業。集成驅動電路,適用于工業環境,通過保護等*** IP54、半導體 S2、UL / CSA 認證。通過控制器監控運算數據保證分子泵的***高安全性。渦輪分子泵 Hipace 80 可以任意位置安裝。自然風冷,多種配件可選滿足廣泛應用。
渦輪分子泵 Hipace 80 技術參數:
分子泵型號 | 接口 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | ***高啟動壓強mbar | 極限壓力 | 全轉速氣體流量hPa l/s | 啟動時間 | 重量 |
進氣口 | 排氣口 | 氮氣
N2 | 氦氣He | 氫氣 H2 | 氮氣
N2 | 氮氣N2 | hPa | 氮氣N2 | min | kg |
HiPace 80 | 63 | 16 | 67 | 58 | 48 | > 1X1011 | 22 | < 1X10–7 | 1.3 | 1.75 | 2.4 |
分子泵應用 Hipace 80