OLYMPUS LEXT OLS4500 納米檢測(cè)顯微鏡
品牌:奧林巴斯
型號(hào):OLS4500
■產(chǎn)品介紹
OLYMPUS LEXT OLS4500是結(jié)合了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、激光掃描顯微鏡(LSM)以及探針掃描顯微鏡(SPM)功能的***體機(jī)。LEXT OLS4500可以滿足不同樣品的觀測(cè)需求,是***臺(tái)新時(shí)代的觀察、測(cè)量裝置。
LEXT OLS4500可以輕松實(shí)現(xiàn)從毫米到納米的觀察和測(cè)量,放大倍率由幾十倍到高達(dá)百萬(wàn)倍。找到觀測(cè)目標(biāo)(觀察對(duì)象)后,您可以在光學(xué)顯微鏡模式、激光顯微鏡模式和探針顯微鏡模式之間自由切換,而不用擔(dān)心目標(biāo)丟失。并且您可以使用探針顯微鏡迅速而正確的完成觀察,大大縮短了獲取影像的時(shí)間。這些便是OLS4500***體機(jī)的自由操作帶給您的益處。更加方便、更加順利地完成超大范圍觀察和測(cè)量。實(shí)現(xiàn)了自由切換操作的LEXT OLS4500。
光學(xué)顯微鏡是從樣品上方照射可見(jiàn)光(波長(zhǎng)約400 nm到800 nm), 利用其反射光成像, 能夠放大樣品數(shù)十倍到***千倍左右進(jìn)行觀察。光學(xué)顯微鏡的特長(zhǎng)是可以真實(shí)觀察彩色樣品, 還可以切換觀察方法, 強(qiáng)調(diào)樣品表面的凹凸, 利用物質(zhì)的特性(偏光性)進(jìn)行觀察。OLS4500上可以使用:明視場(chǎng)觀察,微分干涉觀察,簡(jiǎn)易偏振光觀察。
LEXT OLS4500采用405 nm的短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光、高數(shù)值孔徑的專用物鏡、以及獨(dú)特的共焦光學(xué)系統(tǒng),可以達(dá)到0.12 μm的平面分辨率。此外,OLS4500配有奧林巴斯獨(dú)有的掃描加掃描型2D掃描儀,可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)4096×4096像素的高精度XY掃描。
OLS4500上采用了光杠桿法――通過(guò)高靈敏度檢測(cè)出*前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量(位移)來(lái)進(jìn)行觀測(cè)的方法。在懸臂的背面反射激光,并用壓電元件驅(qū)動(dòng)Z軸,使激光照射到光電檢測(cè)器的指定位置,從而正確讀取Z方向的微小位移。OLS4500配有:接觸模式,動(dòng)態(tài)模式,相位模式,電流模式,表面電位模式(KFM),磁力模式(MFM)。
■應(yīng)用
LEXT OLS4500可用來(lái)測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D 表面形貌、
2D 的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
? 精密部件:檢測(cè)對(duì)表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件;
? 生命科學(xué)
? 微電子機(jī)械系統(tǒng):微型器件的檢測(cè),醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測(cè),如基因芯片等
? 半導(dǎo)體:檢測(cè)微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
? 太陽(yáng)能:太陽(yáng)能電池片柵線的3D 形貌表征、高寬比測(cè)量,制絨后3D 形貌表征(單
晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等
? 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測(cè)量
? LED行業(yè)
■技術(shù)參數(shù)
LSM部分
光源:白光LED,405nm半導(dǎo)體激光
檢出系統(tǒng):光電倍增管
分辨率:移動(dòng)分辨率10nm,顯示分辨率1nm
物鏡轉(zhuǎn)換器:6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
物鏡:100x,50x,20x等(可選)
變焦:光學(xué)變焦:1~8X,數(shù)碼變焦:1~8X
SPM部分
光源:659nm半導(dǎo)體激光
檢出設(shè)備:光電檢測(cè)器
掃描范圍:X/Y 方向,30μm x 30μm, Z 方向:4.6μm,
微懸臂規(guī)格:根據(jù)用途不同微懸臂有不同型號(hào)、類型
工作電源:100-240V, 50-60Hz,
總重量:約440KG