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主動隔振臺

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統(tǒng)，是納米技術大型儀器隔振的***佳解決方案。對升***和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重（***大承重可至9000磅）。 

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何科研環(huán)境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生***個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用***個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。

產(chǎn)品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

被動隔振頻率>200Hz

5-20ms的響應時間

安裝簡單，容易使用

穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年

緊湊、模塊化的多功能設計

控制器帶數(shù)字LED顯示屏 

隔振范圍主動:1-200Hz ;被動: >200Hz

傳輸率超過10Hz< -35 dB

模塊尺寸W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模塊重量60 KG / 132 Lbs
靜態(tài)柔度(每個模塊)
垂直方向約 12 μm / N
水平方向約 6 μm / N

系統(tǒng)噪聲低于50nG/√Hz

耗電量通常情況下為27 W（標配）

輸入電壓90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能監(jiān)控通過在示波器上顯示的一個多重信號表示各傳感部位是否隔振

AVI-600長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"450kg/ 990lbs

AVI-600 Extra長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"510kg/ 1122lbs

AVI-600 Plu長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"570kg/ 1254lbs

AVI-600 Ultr長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"630kg/ 1386lbs

AVI-600 S長x寬x高：11.3" x 15.6" x 4.4"450kg/ 990lbs

兼容性：

AVI-600 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。 

主動隔振臺

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統(tǒng)，是納米技術大型儀器隔振的***佳解決方案。對升***和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重（***大承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何科研環(huán)境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生***個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用***個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。

產(chǎn)品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

被動隔振頻率>200Hz

5-20ms的響應時間

安裝簡單，容易使用

穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年

緊湊、模塊化的多功能設計

控制器帶數(shù)字LED顯示屏

產(chǎn)品應用

SEMTEM

UHV-SPM光刻

隧道顯微鏡Fabry-Perot干涉儀

大型對振動敏感的儀器設備

性能優(yōu)勢 

系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除

六個空間方向的自由隔振

系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振

低頻隔振性能***

無低頻共振、無空氣要求