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現在位置首頁>光學儀器>電子顯微鏡> 掃描電子顯微鏡(SEM)

大樣品倉雙束電鏡 (FIB-SEM)

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 15:06

品  牌:型  號:TESCAN FERA3(XMU/XMH)

狀  態:正常點擊量:1869

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上海非利加實業有限公司

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TESCAN超高速聚焦離子束系統FERA3

 

世界***個完全集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3,提供了超高離子束束流(束流為2μA),其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時間或不可能進行的需要刻蝕的材料,FERA3型儀器是***個不錯的選擇。

 

新***代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶提供了*新的技術優勢,例如:改進的高性能電子設備使圖像采集得速度更快,帶有靜態和動態圖像扭曲補償技術的超高速掃描系統,內置的編程軟件等。

 

FERA3的設計適應各種各樣的SEM應用與當今研究和產業的需求,其高分辨率、高電流和強大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為***的分析工具。

現代電子光路

  • 獨特的三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設計提供了許多工作與顯示模式,體現了TESCAN特有可優化電子束光闌的中間鏡設計

  • 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優化電子束

  • 全自動的電子光路設置與合軸

  • 成像速度快

  • 使用3維電子束技術可獲取實時立體圖像

  • 三維導航

高性能離子光路

  • 高性能的等離子i-FIB設備使切片和材料的刻蝕既快又精確

維修簡單

現在保持電鏡處在***的狀態很簡單,只需要很短的停機時間。每個細節設計得很仔細,使得儀器的效率化,操作*簡化。

自動操作

電鏡除了可以自動化設置外,還可進行聚焦、調節對比度/亮度等自動操作。除此之外,電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序,能明顯減少操作員的操作時間。通過內置腳本語言(Python)可進入軟件的大多數功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過腳本語言用戶還可以自定義自動操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

  • 用戶界面友好的操作系統基于Windows™平臺,多用戶和多語言操作界面

  • 同時的FIB/SEM成像,易于操作

  • 實時圖像支持多窗口模式,可自定義實時圖像參數

  • 圖像處理,報告生成,在線與離線圖像處理

  • 項目管理軟件

  • 內置的自動診斷(自檢)

  • TCP/IP遠程控制,網絡操作與遠程進入/診斷

  • 免費升***軟件

 

 

TESCAN FERA3氙等離子超高速雙束FIB系統(XM)


分析潛力

  • 高亮度肖特基發射可獲得高分辨率,高電流和低噪聲的圖像

  • 選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像

  • 三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設計提供了多種工作模式和顯示模式,體現了TESCAN特有可優化電子束光闌的中間鏡設計

  • 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進行束斑優化

  • 成像速度快

  • 低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可獲取高分辨率圖像(選配)

  • In-Beam背散射電子探頭,用于在小工作距離下得BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品

  • 全計算機化優中心電動載臺設計優化了樣品操控

  • 完美的幾何設計更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD)

  • 由于使用了強力的渦淪分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快達到電鏡的工作真空。電子槍的真空由離子泵維持。

  • 自動的電子光路設置和合軸

  • 網絡操作和內置的遠程控制/診斷軟件

  • 3維電子束技術提供實時立體圖像

  • 低真空模式下樣品室真空可達到500Pa用于觀測不導電樣品

  • 獨特的離子差異泵(2個離子泵)使得離子散射效應超低

  • 聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動高重復性光闌轉換器

  • 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒

  • 高束流下超高的銑削速度和卓越的性能

  • FIB切割、信號采集、3維重構(斷層攝影術),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化

  • 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖像采集、存檔、處理和分析功能


FERA3配置

FERA3 XMH

是***款完全由計算機控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(GIS),在真空模式下工作。

FERA3 XMU

是***款完全由計算機控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。

 

軟件(標配):

  • 測量

  • 圖象處理

  • 3維掃描

  • 硬度測量

  • 多圖像校準

  • 對象區域

  • 自動關機時間

  • 公差

  • 編程軟件

  • 定位

  • 投影面積

  • EasySEMTM


 

配件:

  • 二次電子探頭

  • 背散射電子探頭

  • In-Beam SE

  • In-Beam BSE

  • 探針電流測量

  • 壓差式防碰撞報警裝置

  • 可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭

  • TOP-SIMS

  • 二次離子探頭

等,各種配件可供選擇


產品參數


產品介紹



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