瑞士lynceetec數字全息顯微鏡DHM
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DHM對于離面(Out-of-plane)運動的測量達到了MEMS多普勒激光測振儀(也被稱為MEMS分析儀)的精度,而對于面內(In-plane)運動的測量精度則遠遠超過目前市場上其他MEMS分析儀的測量精度,達到了1納米。
反射式數字全息顯微鏡DHM®系列(DHM-R1000, DHM-R2100 、 DHM-R2200) | |
動態可測垂直高度(無須掃描情況下) | 連續結構: 200 μm
臺階:15 μm |
水平分辨率 | 由所選物鏡決定, 333 nm(@100×) |
垂直精度 | 小至 0.15 nm |
垂直分辨率 | 小至 0.30 nm |
精度 | 小至 0.01 nm |
垂直校準 | 由干涉濾波決定,±0.1 nm |
垂直掃描下的可測垂直高度 | 由電動樣品臺決定,達 10 mm |
視場 | 由所選物鏡決定,從66μm×66μm 到5 mm x 5 mm |
圖像抓取速率 | 標準:155fps (1024 x 1024). (可選 1000 fps). |
圖像抓取時間 | 標準:60 μs (可選高速只需 10 μs) |
工作距 | 由所選物鏡決定,從0.3 mm 到 18 mm |
數字自動聚焦范圍 | 由所選物鏡決定, 可達景深的 50倍 |
視場 | 1024 x 1024 像素點 |
工作距 | < 1% |
采樣空間 | 1024 x 1024 像素點 |
可測樣品反射率 | < 1% |
時間分辨動態輪廓 | 全息MEMS測振分析 |
4D反射測量 | 高速光學三維質量檢測 |