蔡司公司*新推出的Sigma 500/VP場發射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學系統設計,分辨率超過0.8nm,為您提供分辨率和*佳分析性能科研平臺。Sigma500/VP專注于***流的EDS幾何學設計使您可以獲取精湛的分析性能。借助Sigma直觀便捷的四步工作流程可以快速成像、簡化分析程序、提高工作效率。您會比以往更快、更多的獲取數據。多種探測器的選擇使Sigma500/VP可以***的匹配您的應用程序:您可以獲取微小粒子、表面、納米結構、薄膜、涂層和多層的圖像信息。
【技術參數】
分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
放大倍數:10-1,000,000×
加速電壓:調整范圍:0.02-30 kV(無需減速模式實現)
探針電流: 4pA-20nA (40nA&100nA可選)
低真空范圍:2-133Pa(Sigma 500VP可用)
樣品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
樣品臺:5軸優中心全自動
X=125 mm(可選130mm)
Y=125 mm(可選130mm)
Z=50 mm
T=-10o-90o
R=360o 連續
系統控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系統,可選鼠標、鍵盤、控制面板控制
【產品應用】
掃描電鏡廣泛用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。在材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料等領域,進行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體/晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。


