聚焦離子束掃描電鏡―GAIA3 XMU/XMH
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聚焦離子束掃描電鏡―GAIA3 XMU/XMH
TESCAN GAIA3電鏡系統完美的集成了超高分辨率的電子光學系統和高性能的離子束系統,二者配置于同***樣品室上。GAIA3電鏡以MAIA3場發射掃描電鏡為平臺,在保留MAIA3優越性能的基礎上,增加了使用聚焦離子束進行樣品表面處理的功能。GAIA3具有創新性的場發射電鏡設計,低電壓下仍具有出色的分辨率,大大提高了其成像能力。與***般電鏡的電磁物鏡相比,GAIA3具有較窄小的電磁物鏡,同時