經中***科學院電工研究所電子束曝光技術研究組幾十年不斷努力和探索，特別是攻克了“圖形發生器”和“定位工件臺”等關鍵技術后，為各位從事微、納米技術研究的專***提供了既具有微、納米圖形分辨率，系統簡單又價格低廉的電子束曝光系統。 電子束曝光系統=（DY-2000A）納米通用圖形發生器+SEM
基于DY-2000A納米通用圖形發生器:
其基本結構如下：
1、（DY-2000A）圖形發生器+ SEM（掃描電鏡）
| 特點： 1、DY-2000A圖形發生器+SEM組建成電子束曝光系統使用原SEM工作臺。 2、無須改動電子顯微鏡，保留顯微鏡的全部功能，單場制作各種微納結構圖形和套刻工作 |
| | 機型二 DY-2000A圖形發生器+SEM+光柵工件臺 | 特點： 1、(DY-2000A圖形發生器+SEM組建成電子束曝光系統)使用精密光柵工件臺 2、無須改動電子顯微鏡，保留顯微鏡的全部功能，多場制作各種微納結構圖形拼接和套刻工作 |
．DY-2000A納米通用圖形發生器的硬件特點：
1. 高精度標記圖形數據采集器
2. 、快速的SCSI接口
3. 掃描頻率大于10 MHZ，傳輸數率不低于300MB/S。 高速數字信號處理器（DSP）
4. 用于X和Y方向電子束偏轉的兩套16位高速數模轉換和控制系統
5. 12 位高性能，小溫漂的ADC圖形采集系統，信噪比高。
6. 采用高性能的微處理器，信號處理能力優于30M,支撐高效，高分辨的曝光結果。
7. 采用恒溫抗干擾機箱，減少干擾，穩定性大大優于集成設備。
8. 配有5.6寸LED顯示屏，可實時、直觀的顯示曝光進程。
9. 帶有匹配的束閘輸入接口。
10. 配有適配器，使電鏡，能譜，曝光互聯和轉接互不干擾。
11. 配有22寸液晶顯示器和PC圖形控制系統***套。束閘控制：點控、線控、區域控制等
五．DY-2000A納米通用圖形發生器的軟件功能:
1. 基于Windows中文操作系統的EBL應用軟件，具有強大的圖形編輯，界面簡潔，容易操作，兼具讀寫及轉換及圖形導入等功能。
2. 具有遠程控制SEM/FIB/STEM的功能。
3. 可實現數據格式為DXF、CIF、ASCII等圖形的讀入和轉換。
4. 具有圖像縮放和重疊功能，同時可實現快速圖像采集，同步等等。
5. 可實現位移，旋轉，增益矯正刻寫場，提升曝光結果的分辨率。
6. 具有標記檢測和位置修正，用于拼接和套刻對準。
7. 具有曝光、工件臺移動和束閘通斷等功能控制。
8. 具有點控、線控、區域及非特征圖形的控制。
滬公網安備31011502016460號
