HORIBA In-situ series在線橢偏儀
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HORIBA In-situ series在線橢偏儀
鍍膜或刻蝕的過程中,實時監測樣品膜的膜厚以及光學常數(n,k)變化。
產品特點:
將激發和探測頭引入生產設備,可實現:
? 動態模式:實時監測膜厚變化
? 光譜模式:監測薄膜的界面和組分
技術參數:
可實現快速、實時在線監測樣品膜層變化