激光干涉儀
價(jià) 格:詢價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-19 09:16
品 牌:型 號(hào):SJ6000
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1288
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***、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SJ6000采用美***進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號(hào),然后通過(guò)高精度激光 干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù),將數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。
使用時(shí),操作者先按照設(shè)計(jì)的幾何光路安裝相配合的鏡組,幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的,下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖:

邁克爾遜干涉儀的原理是***束入射光分為兩束后各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來(lái),這兩束光從而能 夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過(guò)調(diào)整干涉臂長(zhǎng)度以及改變介質(zhì)的折射率來(lái)實(shí)現(xiàn),從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點(diǎn)的軌跡,因此,要 分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。
搭建好幾何光路后,在檢定軟件上設(shè)定測(cè)量的開始、結(jié)束位置,點(diǎn)擊“開始”按鈕,軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)顯示測(cè)量所得動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù);掃描結(jié)束后,操作者可通過(guò)對(duì)測(cè)量所得 數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析,得到如長(zhǎng)度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定,檢測(cè)結(jié)束后自動(dòng)生成檢定 結(jié)果。
二、特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
1、應(yīng)用范圍廣:可實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量 的檢測(cè);在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè),如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量,可以進(jìn)行機(jī)床振 動(dòng)測(cè)試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
2、測(cè)量精度高:以激光干涉技術(shù)為核心,測(cè)量結(jié)果可達(dá)納米***;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的 影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。
3、采用的PSD技術(shù)(光電位置敏感檢測(cè)器,可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào)),光路調(diào)節(jié)迅速、方便。***次安裝能測(cè)量6項(xiàng)精度指標(biāo)包括線性定位誤差、XX及YY兩個(gè)方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角。
4、內(nèi)置各種類***標(biāo)(GB)、ISO()、BS(英制)、美標(biāo)、DIN(德標(biāo))、JIS(日標(biāo))等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。具有動(dòng)態(tài)測(cè)量分析功能,能夠?qū)崟r(shí)采集、顯示數(shù)據(jù),可進(jìn)行快速測(cè)量分析。
5、安裝方便:基本重量為15kg,簡(jiǎn)單便攜;云臺(tái)自帶三維水平校正儀,安裝調(diào)光方便;斷光無(wú)影響,方便導(dǎo)軌的安裝調(diào)試;
6、界面友好,更符合中***用戶操作習(xí)慣;
7、測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理,可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;
8、可從數(shù)據(jù)庫(kù)中選定多條記錄成批打印檢定記錄或者檢定證書;
9、可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD(選配)文檔;
10、具有數(shù)據(jù)備份和還原數(shù)據(jù)庫(kù)功能;
11、輸出多種Word格式報(bào)表,并支持完全的自定義報(bào)表,定制檢定記錄報(bào)表和檢定證書的格式,特別適合***內(nèi)計(jì)量機(jī)構(gòu)對(duì)報(bào)表方面的要求。
三、技術(shù)參數(shù)
1 | 線性測(cè)長(zhǎng)距離 | 40m |
2 | 線性測(cè)長(zhǎng)精度 | ±(0.02+0.5L)um |
3 | 激光穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
4 | 分辨率 | 0.001um |
5 | 測(cè)量速度 | 4.0m/S |
6 | 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50KHZ |
7 | 預(yù)熱時(shí)間 | 5~10分鐘 |
8 | 環(huán)境補(bǔ)償精度 | 空氣壓力:±1.0mBar, 空氣濕度:±6%, 材料溫度:±0.1℃ |
9 | 基本重量(含三腳架,包裝) | 15Kg |