高功率DPSS納秒激光器
InnoSlab短脈沖和超短脈沖激光器標準產品包括以下各種電光調Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介質, 具有不同的脈沖能量、輸出功率和波長:
? 
光束質量: M2 < 2
? 脈沖能量可達到 60mJ
? 脈寬可達到 4ns以下
? 峰值功率可達到 7MW
? 脈沖重復頻率可到 150 kHz
? 平均功率可達 600W
? 波長 1064、 532、 355、266nm
InnoSlab激光器和放大器的***個與眾不同的杰出特性在于其光束形狀可量身定制: 從圓形高斯模式到***維線狀平頂以及兩維方形平頂等等。
高功率DPSS納秒激光器應用領域：
? 光伏行業，例如硅晶園的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導電層和絕緣層的燒蝕
? 顯示領域，如導電層的織構化和玻璃切割
? 玻璃工業，如微鉆孔和高速亞表面內雕
? 電子工業，例如對印刷電路板的切割和鉆孔
? 工具制造和機械工程，如三維燒蝕快速成形
面板切割 微結構加工 航空材料加工
高功率DPSS納秒激光器技術參數
型號 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波長（nm） | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束質量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
平均功率（W） | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
重頻頻率（KHz） | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
單脈沖能量（mJ） | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
*小脈寬（ns） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量穩定性（%）rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度（遠場）[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑（mm） | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
發散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
預熱時間（min） | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |
滬公網安備31011502016460號
