MCD系列雙向氣體質量流量控制器
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-03-29 17:20
品 牌：其他型 號：
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產品參數
性能
可用量程：大-5000至+5000 slpm；小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
標準精度：±（0.8%讀數+0.2%滿量程），雙向
高精度（選配）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程），雙向
可重復性：0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體：98種（MCD系列）或130種（MCDS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
滬公網安備31011502016460號
